地 址：武漢東湖開發(fā)區(qū)光谷電子工業(yè)園2期5棟
電 話：027-86698905
q q：512703577
郵 箱：[email protected]
聯(lián)系人：楊經(jīng)理
手 機(jī)：18062112548
網(wǎng) 址：http://tutengstone.cn
技術(shù)指標(biāo)
?工位數(shù)量：12-24個，每1個工件對應(yīng)1個工位閥門。
?工位接口：1/2不銹鋼真空管接頭
?系統(tǒng)氦漏率：設(shè)備整體漏率≤1.0E-9Pa·m3/s
?系統(tǒng)極限真空度：優(yōu)于E-5Pa
?真空系統(tǒng)：渦旋式干泵+分子泵
?真空測量：1E+5Pa~5E-7Pa
產(chǎn)品介紹
本系統(tǒng)用于電容薄膜計(jì)性能測試用，將薄膜電容計(jì)壓強(qiáng)維持在底壓以下一個量級，確保電容薄膜計(jì)測量值處于零點(diǎn)狀態(tài)。通過多功能測控系統(tǒng)，實(shí)時監(jiān)測電容薄膜計(jì)的模擬量輸出。通過薄膜計(jì)輸出電壓的波動判斷電容薄膜計(jì)的穩(wěn)定性。
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